BW Series 3700

特長
FEATURES
◎ フットプリントの低減(10%)
◎ 1薬液+1DIW構成に対応
◎ 配管のシンプル化の実現
◎ ウエハの接触部の縮小化の実現
◎ 気泡発生の低減化を実現
◎ リバースフローシステムにより液置換効率を向上
◎ 濃度の安定性を向上
◎ 豊富なバスの種類に対応
BW Series 3000/2000

特長
FEATURES
◎ Increased throughput
◎ Selection of high speed LD/ULD (I-Type) (up to 500 WPH with 300mm wafers)
◎ Smaller footprint
◎ Reduced CoO
◎ Air flow control
◎ Complete standardization (stabilized performance, reduced set-up time)
◎ SEMI standard
◎ SECS/GEM compliant
◎ EES (EDA or TDI) compliant