◎ フットプリントの低減（10％）
◎ 1薬液+1DIW構成に対応
◎ 配管のシンプル化の実現
◎ ウエハの接触部の縮小化の実現
◎ 気泡発生の低減化を実現
◎ リバースフローシステムにより液置換効率を向上
◎ 濃度の安定性を向上
◎ 豊富なバスの種類に対応

◎ Increased throughput

◎ Selection of high speed LD/ULD (I-Type) (up to 500 WPH with 300mm wafers)

◎ Smaller footprint

◎ Reduced CoO

◎ Air flow control

◎ Complete standardization (stabilized performance, reduced set-up time)

◎ SEMI standard

◎ SECS/GEM compliant

◎ EES (EDA or TDI) compliant​