Global JET :: MAIN

HTS-300

特長 FEATURES

◎ 最小150㏄の消費量での処理を実現
◎ 最高240℃での高温処理を実現
◎ W/F反転処理によるヒューム拡散防止
◎ 最短30秒でのストリップ処理を実現
◎ SPM4チャンバ+洗浄4チャンバの2層構成